硅片設備

• 可以執行高速大量輸送。（4,000～4,800片/hr）
• 根據本公司獨有的生産系統可以製造價格合理的特定製品。

• 由於水槽内部的分離動作，不會給硅片帶來任何壓力反應。
• 因為兩條線獨力作業，因此作業可讓停止時間降到最少。
• 可檢測出破損的硅片。

• 以超音波＋専用薬液來發揮最好的清洗效果
• 以本公司獨有的生産系統可以製作價格合理且特定的設備。

• 驅動、卡式插入設備、暫存機等各種
  設備結構、配置、設置空間等，可根據客戸要求製作收放板机設備。

• 特點
  • 將BLISTER-BOX 內重疊状態的硅片一片片取出，再送到輸送帶上， 也可以裝入單獨的投放機或者按歩驟裝入運行設備上。 　
  • 比起夾式吸付方式，可以不讓硅片在任何的壓力中高速進行搬運。
  • 也可以安装2片感應機能設備。
• 規格
  • 處理能力：1件／秒
  • 搬運方式：X、Y機械手
  • 硅片尺寸：125mm、156mm
  • 硅片厚度140μm～300μm
  • 輸送精度：搬運齒距±2mm

• 特點
  • 具備檢測重疊式硅片的計數功能 　
  • 計數時間為1秒以内 　
  • 最大可計數量為105件