ウエハーライン装置

• 高速大量搬送が可能です。（4,000～4,800枚/hr）
• 当社独自の生産システムにより安価なカスタムメイドが可能です。

• 水槽内での分離動作により、ウエハーにストレスを与えません。
• ２レーンは独立動作のため、段取り時の停止時間が最小限ですみます。
• 破損ウェハーを検出可能です。

• 超音波＋専用薬液により、優れた洗浄効果を発揮します。
• 当社独自の生産システムにより安価なカスタムメイドが可能です

• ディバータ、カセット挿入、バッファー等各種
  ライン構成、配置、設置スペース等ご要望に応じてマテハン装置を製作可能です。

• 特徴
  • ブリスターBOX内のスタック状態のウエハーを１枚ずつ取り出し、搬送コンベアに送り出します。 　
  • 単独投入機、またはプロセスラインへの組み込みも可能です。
  • ベルヌーイグリッパー吸着により、ウエハーにストレスを与えない高速搬送が可能です。
  • ２枚取り検知機能等取り付けも可能です。
• 仕様
  • 処理能力:１枚／秒
  • 搬送方式:X・Y ロボット
  • ウェハーサイズ:125mm、156mm
  • ウエハー厚み:140μm～300μm
  • 搬送精度:搬送ピッチ±2mm

• 特徴
  • スタック状態のウエハー枚数がカウント可能です。 　
  • カウント時間は１sec以内です。 　
  • 最大105枚カウントできます。